SEM掃描電鏡作為一種強大的顯微分析工具，其高分辨率成像能力和廣泛的應用前景使其在科學研究和工業生產中扮演著越來越重要的角色。隨著技術的不斷進步，我們有理由相信，SEM將在未來的科技發展中發揮更大的作用，為人類探索未知世界提供更加準確的視角和手段。
 

　　SEM掃描電鏡(SEM)的維護保養是確保其正常運行和延長使用壽命的關鍵：
 

　　1.電子光學系統的清洗
 

　　-清洗頻率：每次更換燈絲時，柵帽、柵帽光闌固定圈都要清洗，不必每次都要清洗物鏡光闌柄。當見到明顯的污染及圖象象散過大時，就要清洗物鏡光闌柄并換新光闌或用酒精燈燒物鏡光闌柄。
 

　　-清洗部位：物鏡下極靴孔、襯管等。
 

　　-注意事項：在SEM掃描電鏡操作室中，如果是鎢燈絲SEM掃描電鏡，應定期對柵極片的污染部位進行清潔，使用金屬研磨膏來進行擦拭，然后用丙酮或酒精等有機溶液進行超聲波清洗；對于物鏡光闌的清洗，要用專用工具拆卸和清洗，并且要輕拿輕放，不能用鑷子夾持光闌孔，不能夾持光闌孔。
 

　　2.鏡筒襯管的維護和清洗
 

　　-準備工具：專用工具、鏡筒襯管清洗棒、鏡筒襯管。
 

　　-清洗步驟：打開鏡筒上部發射倉頂蓋，使用專業工具提取鏡筒襯管，慢慢用專用工具插入鏡筒襯管中，推出其中的光闌，然后取出光闌和襯管分開清洗，清洗后將光闌和襯管按原位置推進去烘烤后倒置安裝。
 

　　3.電子槍的清洗和維護
 

　　-拆卸燈絲組件：用氨水將燈絲組件柵帽附近的揮發物擦拭干凈，然后用酒精擦一遍。注意：如果燈絲組件用的時間較長，除了柵帽附近較臟外，其它部位也較臟，則整個組件全部拆下來清洗。
 

　　-重裝燈絲：將燈絲重裝及燈絲調中調節到燈絲剛好處于柵帽光闌中心的距離，并注意“O”型圈上不要沾有灰塵或毛狀物，注意環境的干燥和清潔。