臺式電鏡主要用于各類微觀樣品表面形貌、組織結構進行快速檢測以及其元素成份分析，具有高低真空成像模式。可對金屬和其他導體以及作導電噴涂處理后的樣品采用高真空模式成像。對未經導電噴鍍處理的非導電樣品可進行原始狀態下的觀察，并保持樣品的原始形貌，得到真正的表面形貌。對含水量較高的樣品，可以在冷凍輔助下觀測形貌。配備能譜分析，可以對微區元素定性定量分析。配備離子濺射儀，可滿足無導電物質噴濺需求。
臺式電鏡的制樣流程分析：
一、觀察形貌的塊狀樣品制備
清洗（干燥→吹掉浮粉）→固定→導電處理。
二、能譜分析的塊狀樣品制備
切割→鑲嵌→打磨拋光→腐蝕→清洗→固定→導電處理。
三、粉末樣品制備
1.對于小顆粒（＜100nm）
分散（取少量粉末于溶液中）→超聲分散→滴樣（取少量樣品滴于導電平滑襯底上，如Si片）→烘干→（導電處理）。
2.對于大顆粒（1um）
分散（取少量粉末撒于碳膠或銅膠表面）→吹掉多余→（導電處理）。
四、注意事項
1.雙面碳膠固定牢，否則在樣品艙內會膨脹、放氣、導電性不佳、高倍下有漂移現象；
2.同一批次測試的樣品高度盡量一致，高度相差較大的樣品要分批測試；
3.導電性不理想的樣品可以進行噴金操作，噴金不要太厚，2nm即可。
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