鎢燈絲掃描電鏡是一款高性能、應用廣泛的通用型鎢燈絲掃描電子顯微鏡。它的總發射電流和束斑都較大，抗干擾能力和穩定性都較好，低真空下可以對不導電樣品無荷電成像，可用于形貌觀察、顯微結構分析、斷口形貌分析，在材料、地質、礦產、冶金、機械、化學、化工、物理、電子、生物、醫學等領域都有廣泛的用途。

 

工作原理：通過對電子槍內的鎢燈絲加高電壓，使電子槍處于熱激發狀態，在陽極作用下，處于熱激發的電子槍就可以激發出電子束。經過掃描線圈磁場的控制，電子束在樣品表面逐點掃描，激發出二次電子、背散射電子等物理信號，經探測器收集、放大器放大后，調制得圖像。鎢燈絲掃描電鏡適合大量的常規檢測。

 

使用時的一些注意事項：

(1) 鎢燈絲的表面可以吸收一定量的空氣和水蒸氣。當安裝在電子顯微鏡燈管中時，會慢慢從鎢燈絲表面釋放出來，影響燈管的真空度，腐蝕燈絲。因此，鎢燈絲在更換前必須進行“除濕脫氣”。可將其置于45°C的電熱箱中加熱數小時，再置于透射電子顯微鏡抽膜箱中預抽數小時，以除去鎢燈絲上吸附的灰塵。殘余空氣和水蒸氣。

(2) 如果干燥后的樣品暫時不用，可以存放在干燥器或真空中。樣品貼附臺后，最好將其放入透射電子顯微鏡膜提取腔中，預抽真空數小時后再放入電子顯微鏡中觀察。

(3)降低飽和點以滿足要求。掃描電子顯微鏡的鎢絲有兩個飽和點：第二飽和點用于高分辨率觀測和攝影。如果對圖像要求不高或者做EDS的話，可以在第一個飽和點下功夫，這樣可以延長燈絲的壽命。

(4)抽高真空后等待幾分鐘，使真空度更高。在放氣前等幾分鐘，讓燈絲冷卻下來，然后再放氣，以避免鎢燈絲因接觸大氣而過熱而氧化。

(5) 加速電壓不宜過高，滿足要求即可。如果能用低電壓，就不要用高電壓。當放大倍數不超過10,000倍時，15-20 Kv通常就足夠了。同時，工作電壓和工作距離應保持相對穩定。如無特殊需要，不要頻繁改變電壓和工作距離。電子顯微鏡工作參數的頻繁變化不利于電子顯微鏡的穩定運行。

(6)盡可能少地頻繁開關鎢燈絲。次數過多會對鎢燈絲不利。它不僅大大降低了維護成本，而且保證了電子顯微鏡的高效穩定運行。