臺式電鏡SEM是一個相對年輕且發展迅速的產品。其實許多應用領域并不需要使用低于1nm的高分辨率掃描電鏡(SEM),10nm的分辨率是綽綽有余的。然而,由于材料特征點尺寸越來越小和觀測需求的增加,而且它的放大倍數可高達130,000倍。此類新型儀器的出現*光學顯微鏡與傳統大型掃描電子顯微鏡之間的空白區域,可廣泛應用于材料科學、納米顆粒、生物醫學、食品藥品、紡織纖維、地質科學等諸多領域。
臺式電鏡SEM的樣品制備方法:
1.佩戴無粉手套,使用鑷子把丁型樣品臺放置在制樣臺上(嚴禁在樣品杯中直接制備樣品,以免污染樣品杯!)。
2.剪取導電膠并將其一面粘于丁型樣品臺上,之后將樣品粘于導電膠的另一面(導電膠與樣品嚴禁超出樣品臺)。
3.若樣品為塊體或片狀,將待觀測的表面朝上,把樣品粘附在導電膠上。若要觀察樣品的截面,則須使用截面樣品臺,將導電膠貼在樣品臺的截面上,與樣品臺上表面恰好呈90度垂直,再把樣品粘附在導電膠上,確保觀察的立面朝正上方。
4.若樣品為粉末狀,用藥勺或牙簽取少量粉末,將其分散地灑在導電膠上,用鑷子夾住樣品臺,在桌面上輕輕磕碰,使得沒有粘住的樣品更加松散,以便后續清除。
5.若樣品為磁性塊體,須用更多的導電膠加固樣品的四周。樣品磁性要弱,而且必須為薄片,否則不好加固。塊體過小會影響加固效果,為保證加固效果滿足電鏡要求,應使用大樣品臺配合稍大的磁性塊體。磁性粉末不能直接進行測試,須濺射在一個基底上面,無法自由移動才能進行測試。