臺式掃描電鏡是在加速高壓作用下將電子槍發射的電子經過多級電磁透鏡匯集成細小的電子束。在末級透鏡上方掃描線圈的作用下,使電子束在試樣表面做光柵掃描(行掃+幀掃)。入射電子與試樣相互作用會產生二次電子、背散射電子、X射線等各種信息。這些信息的二維強度分布隨著試樣表面的特征而變,將各種探測器收集到的信息按順序、成比率地轉換成視頻信號,再傳送到同步掃描的顯像管并調制其亮度,就可得到一個反應試樣表面狀況的掃描圖像。如果將探測器接收到的信號進行數字化處理即轉變成數字信號,就可以由計算機做進一步的處理和存儲。
臺式掃描電鏡的主要應用領域講解:
1.掃描電鏡在材料和冶金行業中的應用
場發射掃描電鏡采用場致發射電子槍代替普通鎢燈絲電子槍,可得到很高的二次電子像分辨率。采用場發射電子槍需要很高的真空度,在高真空度下由于電子束的散射更小,其分辨率進一步得到提高。同時,采用磁懸浮技術,噪音振動大為降低,燈絲壽命也有增加。場發射掃描電鏡的特點是二次電子像分辨率很高,如果采用低加速電壓技術,在TV狀態下背散射電子(BSE)成像良好,對于未噴涂非導電樣品也可得到高倍像。所以,場發射掃描電鏡對半導體器件、精密陶瓷材料、氧化物材料等的發展起到很大作用。
2.掃描電鏡在新型陶瓷材料顯微分析中的應用
在陶瓷的制備過程中,原始材料及其制品的顯微形貌、孔隙大小、晶界和團聚程度等將決定其后的性能。掃描電子顯微鏡可以清楚地反映和記錄這些微觀特征,是觀察分析樣品微觀結構方便、易行的有效方法,樣品無需制備,只需直接放入樣品室內即可放大觀察;同時掃描電子顯微鏡可以實現試樣從低倍到高倍的定位分析,在樣品室中的試樣不僅可以沿三維空間移動,還能夠根據觀察需要進行空間轉動,以利于使用者對感興趣的部位進行連續、系統的觀察分析。掃描電鏡拍出的圖像真實、清晰,并富有立體感,在新型陶瓷材料的三維顯微組織形態的觀察研究方面獲得了廣泛地應用。
3.掃描電子顯徽鏡在地質工作中的應用
掃描電鏡主要通過對微體古生物、巖石、礦物的形態和結構構造特征的研究,巖石、礦物的元素組成、變化規律及其賦存狀態的研究,解決地質科研和生產中的各種問題。它直接或間接應用于古生物學(主要是微體古生物)、礦物學、巖石學、隕石學、礦床學、構造地質學、礦床綜合評價和礦產綜合利用等方面的研究。
4.掃描電鏡在醫學和生物學中的應用
隨著掃描電鏡分辨力溝不斷提高和樣品制備技術的逐步改善,它在醫學生物學的研究中發揮了巨大乍用,具有重要約實用價值。特別是近年來,由于冷凍割斷法、化學消化法以及樹脂鑄型法等新技術的創建,使人們在掃描電鏡下可以直接觀察組織細胞內部超微結構的立體圖象,能夠顯示器官內微血管和其他管道系統在組織內的三維構筑,為醫學生物學亞顯微領域的深入探討,提供了更為良好的條件。